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淺談真空燒結爐在使用時需要注意的事項
  • 發(fā)布日期:2019-10-23      瀏覽次數(shù):3438
    •        真空燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。為了保證粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉變等順利進行,燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行的控制。
        真空燒結爐也具有潤滑劑燒除、預燒結及高溫燒結的功能。潤滑劑含量多的壓坯可先在一般爐中燒除,然后再在真空爐內燒結。
        真空燒結爐內部通常是由加熱部分和隔熱保溫兩部分組成的燒結區(qū)。加熱形式有電熱元件(如碳管、碳棒)加熱、中頻感應加熱兩種。爐子的冷卻采用水夾套冷卻。為了加速冷卻,可向爐內通入氫、氮、氬等氣體。
        真空燒結爐使用的注意事項
        (1)當使用氫氣或分解氨時,要先通入氮氣,在確保爐中的空氣*被排出時,才能通電升溫,以防止打鳴和爆炸。
        (2)對鉬絲作加熱元件的燒結爐,在通電前爐體中應通入保護氣體,以防止鉬絲氧化而脆斷。
        (3)爐門及氣體排出口應點明火燒除,以防止氧氣進入或氫氣排出而發(fā)生爆炸危險和煤氣中毒危險。
        (4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲,在升溫至1100℃時應停留一段時間(30min左右)再升溫,以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。
        (5)在升溫前和操作中應不時檢查氣流、水流是否符合要求,以及檢查設備、電和爐溫的控制儀表是否正常。
        (6)停爐前應先斷電,在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。
        (7)除了因維修必須停爐外,要避免頻繁停爐。燒結爐的頻繁開停,會造成加熱元件易于老化,耐火材料易于碎裂,爐內氣氛不純,爐溫容易波動等弊端。
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